• RIE-PE刻蝕機基本資料分析概述

    點擊次數:1950 發布時間:2017-01-10

      RIE-PE刻蝕機其原理是暴露在電子區域的氣體形成等離子體,由此產生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體,從而形成了等離子或離子,電離氣體原子通過電場加速時,會釋放足夠的力量與表面驅逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。
      RIE-PE刻蝕機是在濕法腐蝕技術基礎上發展起來的,屬于純化學性腐蝕。這種方法腐蝕均勻性好、損傷小,缺點是各向刻蝕同性,對于1μm以下的細線條線寬損失明顯。所以,在等離子刻蝕的基礎上改進反應結構和接電方式,出現了反應離子刻蝕。該方法加快了縱向的腐蝕速度,具有各向異性的腐蝕特點。
      RIE-PE刻蝕機的主要優勢:
      1、超凡的印刷體字符打印效果
      2、高可靠性:無需消耗品以及經久考驗的二氧化碳激光管技術
      3、無論對靜止物品還是高速生產線上,噴碼效果一樣出色
      4、信息打印方向無限制
      5、可打印出各種類型的圖形
      6、zui少量的維護工作以及對環境無礙
      RIE-PE刻蝕機的工作原理:
      RIE-PE刻蝕機是用離子轟擊工件并把能量轉換到工件表面,從表面移出一個或多個原子的一種加工方式。即從離子源把離子引入到真空室中,離子平行且被加速地照射到工件上,從工件表面移出原子。在理想情況下,一個離子從表面移出一個原子,而不干擾任何鄰近的原子。
      離子刻蝕機由真空加工室、離子束發生器、離子引出和加速系統、離子中和器、束流檢測檔板、真空系統、供氣及其控制系統、電源裝置、計算機控制系統等主要部件組成。
      RIE-PE刻蝕機的主要性能特點:
      1、系統由計算機控制,通過觸摸屏操作,參數設置靈活,可控性好;
      2、采用特別技術離子束產生器,能量可控,適用不同產品蝕刻、拋光、減薄等形式加工,產品加工均勻性好;
      3、*的柵網設計,保證束流的均勻性和穩定性,產品加工一致性和重復性好;
      4、對材料無選擇性,任何固體材料都可加工;
      5、工件加工角度可在0°~90°之間任意變化;
      6、6×10-6mbar無油超真空系統,保證系統在5×10-5~2×10-4 mbar的工作壓力下穩定工作;
      7、工藝安全,無污染。系統操作維護簡單,運行成本低。
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