• 目前,RIE刻蝕機得到了廣泛的認可!

    點擊次數:1232 發布時間:2019-04-16

       RIE刻蝕機,又叫等離子蝕刻機、等離子平面刻蝕機、等離子體刻蝕機、等離子表面處理儀、等離子清洗系統等。等離子刻蝕,是干法刻蝕中常見的一種形式,其原理是暴露在電子區域的氣體形成等離子體,由此產生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體,從而形成了等離子或離子,電離氣體原子通過電場加速時,會釋放足夠的力量與表面驅逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。某種程度來講,等離子清洗實質上是等離子體刻蝕的一種較輕微的情況。
     
      RIE刻蝕機的原理與激光打標機相同,即通過高能量的激光光束照射到材料表面使其瞬間氣化形成圖案、文字等。而與打標機相比要求的精度更高,對材料表面的加工精度要求也更高,通常激光刻蝕機用在觸摸屏行業內的ITO刻蝕,銀漿刻蝕等。
     
      在早些年前RIE刻蝕機在行業內幾乎都統稱為觸摸屏激光刻蝕機,在觸摸屏行業內得到了廣泛應用,手機電阻屏、電容屏的發展也讓激光刻蝕機廠家發展發生了質的變化,主要體現為ITO玻璃激光刻蝕、銀漿玻璃激光刻蝕等,也有一部分是ITO薄膜與銀漿薄膜刻蝕。
     
      而隨著手機行業的發展,OLED的崛起,觸摸屏行業的激光刻蝕設備逐漸呈現飽和趨勢,RIE刻蝕機廠家也隨之加大對材料應用的研發投入和應用方向的投入,太陽能、光伏行業將會成為激光刻蝕機下一個重要發展領域。
     
      太陽能光伏行業的一些采用應用包括金屬合金薄膜材料,如鋁薄膜,銅薄膜,鎘薄膜,合金薄膜等。也有一些玻璃鍍層和特殊材料鍍層的應用,如碳納米玻璃材料應用,下面是一些光伏行業玻璃/薄膜激光刻蝕樣品介紹。
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