• 熱真空系統應用狀況分析討論

    點擊次數:928 發布時間:2019-12-09

         試驗真空環境模擬為了考核和研究某些活動部件、伸展機構的干摩擦、冷焊性能和研究材料在真空條件下的升華、重量損失、老化等效應,需要在更高的真空度和其他空間環境因素的組合下進行試驗。大家都知道現在真空系統在各個行業的應用越來越廣泛,下面我們為大家介紹一下現在常用的熱真空系統在熱真空試驗設備中的應用吧。
     
        熱真空系統應用于半導體、集成電路、光電器件的制造工藝過程,是集成電路設備中的關鍵設備之一;它也用于各種其它鍍膜設備和真空應用設備中。
     
        真空系統在熱真空系統中的應用
     
        熱真空系統是指在真空和一定的溫度條件下驗證航天器及其組件各種性能與功能的試驗,由冷浸、熱浸與變溫過程組成。其環境條件為真空度優于6.5×10-3Pa;具有冷黑背景,半球法向發射率大于0.90。在模擬試驗時,試件多處于工作狀態并測量其工作參數和環境參數。冷浸是使航天器及其組件處于規定的試驗低溫度,并停留規定的時間;熱浸是使其處于規定的試驗高溫度,并停留規定的時間。從室溫開始降至規定的試驗低溫度,實行冷浸再上升至規定的試驗高溫度,實習熱浸,后回到室溫,成為一個溫度循環。
     
        熱真空系統又稱空間環境模擬設備或空間模擬器,它是模擬衛星及其組件在軌道運行中的高真空條件下,對衛星組件進行考驗,這就是通常說的組件熱真空試驗。熱真空試驗箱主要由真空容器、熱沉與輻射屏、試驗平臺、制冷、加熱系統、真空系統、真空系統、循環水系統、供氣系統、測量與控制系統及安全保護系統組成。
     
        在熱真空系統中的應用的使用說明
     
        真空系統在投入生產使用前,必須仔細檢查各部位緊固件是否有松動現象,若有松動必須校正擰緊。開車前水箱必須加滿水,打開泵進口閥,再運行耐腐泵,嚴禁泵脫水空轉及反轉,以防止損壞機封、葉輪及泵體其它部件。真空系統停車前先打開放空閥或等真空度降至0.092MPa以下,再停車。以防真空度過高形成倒吸損壞止回閥。(如止回閥失靈,請打開止回閥蓋,清除雜物)。
     
        在使用汽水串聯噴射真空系統時,先開車再打開蒸汽閥,停車時先關掉蒸汽閥再停車,以防止溫度過高而損壞水噴射真空泵。熱真空系統在安裝蒸汽管路時,管路一定要保持水平,防止管內有積水,否則將影響真空效果。水箱內的循環水應經常更換或補充,盡量保持較底的水溫,因為水溫過高會影響排氣量和真空度。
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