• 我們的優勢|離子束刻蝕

    點擊次數:1167 發布時間:2020-06-16

    我們的優勢|離子束刻蝕

    NANO-MASTER的離子束刻蝕系統有很強的適應性,可以根據不同的應用建立不同的結構,不同的樣品臺和離子源配置可實現不同的應用范圍。系統中的樣品臺可實現正負90°傾斜、旋轉、水冷和背氦冷卻。NM成熟的技術可控制基片溫度在50℃以內。通過傾斜和旋轉,深溝可切成斜角,通過控制側壁輪廓和徑向可提高均勻性,不同的構造不同的應用可選擇不同的選配項,也可增加濺射實現刻蝕之后的涂覆保護。應用十分廣泛。

    NANO-MASTER的離子束刻蝕在行業中非常有競爭力,它憑什么可以這樣脫穎而出呢?

    1. 計算機全自動工藝控制,具有高度的可重復性;

    2. 菜單式設計,支持四級密碼授權訪問控制,支持不限數量的工藝程序,每一個工藝程序支持1-100個工藝步驟,操作方便;

    3. 高均勻性刻蝕,6"片刻蝕均勻性優于+/-3%;

    4. 支持垂直刻蝕和斜齒刻蝕;

    5. 分子泵與工藝腔體采用直連設計,具有z佳的真空傳導率,8小時可以達到6x10-7Torr的高工藝真空,15分鐘內達到10-6Torr量級的真空;

    6. 通過計算機控制分子泵的渦輪速度,直接調節分子泵的渦輪速度,從而實現下游壓力的全自動調節,快速穩定;

    7. 刻蝕工藝優化,防止被刻蝕的光刻膠被碳化而導致后續的去膠困難;

    8. 緊湊型設計,節省占地空間,整個設備的主機占地面積僅26"x44";

    9. 關鍵核心組件帶水冷保護,長期穩定。

    此外,NANO-MASTER鄭重承諾客戶,由我司出售的儀器均可獲得終身的售后維修服務和穩定的零配件供應。為更高效、便捷地為您提供售后服務,我們在上海設立辦公處,NM售后服務工程師會竭誠為您提供優質、可靠的本地化服務。

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