• 進口光學鍍膜機維護與保養

    點擊次數:878 發布時間:2020-07-15

      進口光學鍍膜機主要由真空鍍膜機室、真空抽氣機組及電柜(控制電柜、電子槍電柜)組成,其廣泛應用于微電子、光學成膜、民用裝飾、表面工程等領域。
     
      進口光學鍍膜機工作原理是在高真空狀態下、利用電子束對金屬或非金屬材料加熱到適當的溫度,材料受熱后蒸發成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸發源至被蒸發基片距離大,蒸發出來的蒸汽分子向四處直射,碰到基片就沉積在基片表面形成膜層。
     
      進口光學鍍膜機維護與保養主要包換電子槍安裝與維護、光路的檢修與維護、設備的清洗與保養。
     
      1.定期更換擴散泵油
     
      擴散泵油使用一段時間,約二個月(兩班),因在長期高溫環境,雖然較高真空時才啟動擴散泵,但仍殘留氧氣及其它成份使之與擴散泵油起反應,擴散泵油在高溫下也可能產生裂解,使其品質下降,而延長抽氣時間。在我們認為時間延長得太多時,應予更換。
     
      2.真空泵
     
      機械泵油、維持泵油在使用二個月,油質會發生變化。因油可能抽入水分、雜質及其它原因,而使用油粘性變差,真空下降,故需要更換。如為新設備,在使用頭半個月即應更換,因在磨合期,油含磨合鐵粉較多,會加劇磨損。
     
      3.清潔衛生
     
      定期將設備及其周圍環境衛生搞好,常保持設備內外清潔,將設備周圍環境整理有條,有一個好的工作環境,以保安全。
     
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