• 對MOCVD設備還感到非常陌生?看完這篇文章你就了解它了!

    點擊次數:920 發布時間:2021-01-26


        NMC-4000(M)MOCVD設備概述:NANO-MASTER針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發的臺式等離子輔助金屬有機化學氣相沉積系統(PA-MOCVD),該系統具有5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5x10-7Torr極限真空)、PC全自動控制,完全的安全互鎖。

        目前,這項技術延伸到5個4"晶圓的立柜式獨立批處理系統,該系統可以集成到集群配置中以滿足高產量的要求。

        NMC-4000(M)MOCVD設備特點:

        臺式系統

        10英寸不銹鋼腔體

        帶碰頭氣體分配器的射頻等離子源

        自動調節

        4英寸基片夾、可加熱到900°C

        5個帶獨立冷卻/加熱的起泡器

        加熱氣體管道

        附加流量控制器

        250升/秒渦輪分子泵組

        5×10-7托基準壓

        電腦程序全自動驅動

        儀器模擬用戶界面

        緊急按鈕保護和安全互鎖

        MOCVD設備選配:

        立式獨立系統

        感應耦合等離子或微波等離子源

        14英寸電解拋光立方體腔體

        8英寸或12英寸基片夾

        6英寸可加熱至700°C旋轉基板臺(4英寸可到950°C)

        附加的起泡器和MFC

        晶圓自動裝載/卸載

        可兼容集群配置

        應用:

        3到5族半導體層

        藍色發光二極管

        激光二極管

        紫外-可見光譜光電中的氮化銦納米棒

        3D或2D材料中的二硫化鉬、氮化硼、石墨烯
點擊這里給我發消息
 

化工儀器網

推薦收藏該企業網站
韩国a级作爱片_国产系列丝袜熟女精品网站_国产剧情国产精品一区_苍井そら无码av_97人摸人人澡人人人超碰 <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <文本链> <文本链> <文本链> <文本链> <文本链> <文本链>