• 兆聲清洗機具備拋動清洗功能,保證清洗均勻

    點擊次數:25 發布時間:2022-08-22

      兆聲清洗機是一款帶有小占地面積的理想設備,并且很容易安裝在空間有限的超凈間中。該系列設備都具有出眾的清洗能力,并可用于非常廣泛的基片。提供了可控的化學試劑滴膠能力,這使得顆粒從基片表面的去除能力得以進一步加強。SWC和LSC具備對點試劑滴膠系統,可以zui大程度節省化學試劑的用量的。滴膠系統支持可編程的化學試劑混合能力,提供了可控的化學試劑在整個基片上的分布。
      兆聲清洗機具有以下特點:
      1、械手或多機械手組合,實現工位工藝要求。
      2、PLC全程序控制與觸摸屏操作界面,操作便利。
      3、自動上下料臺,準確上卸工件。
      4、凈化烘干槽,烘干前處理技術,工作干燥無水漬。
      5、全封閉外殼與抽風系統,確保良好工作環境。
      6、具備拋動清洗功能,保證清洗均勻。
      7、全封閉清洗均勻。
      8、全封閉外殼與抽風系統,確保良好工作環境。
      兆聲清洗機不僅保留了超聲波清洗的優點,而且克服了超聲波清洗的缺點。兆聲無損清洗機的工作原理是利用高能(850kHz)頻率效應和化學清洗劑的化學反應對硅片進行清洗。在清洗過程中,換能器發出的高能聲波波長為1m,頻率為0.8MHZ。在聲波的驅動下,溶液的分子運動得更快。瞬時速度可達30cm/s。因此,無法形成超聲清洗等氣泡。相反,只能用高速的流體波不斷地沖擊晶圓片表面,迫使附著在晶圓片表面的微小污染物顆粒被去除并進入清洗溶液中。
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