• NANO-MASTER產品介紹

    點擊次數:563 發布時間:2020/6/15
    提 供 商: 那諾中國有限公司 資料大?。?/td>
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    NANO-MASTER產品應用于LED、微機電系統、光電子學、納米技術、太陽能電池、半導體和空間模擬等。主要產品有用于SiO2/Si3N4/DLC/CNT/石墨烯等沉積的PECVD等離子體化學氣相沉積,濺射系統(RF/DC/反應濺/共濺/組合濺),熱蒸鍍和E-Beam蒸鍍,ALD原子層沉積,用于InGaN/AlGaN等氮化物沉積的PA-MOCVD,IBE/RIE/ICP/DRIE刻蝕系統,兆聲波無損濕法清洗/去膠/剝離/刻蝕系統,熱真空系統。

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