• 直擊渭南師范學院原子層沉積安裝現場
    點擊次數:1135 發布時間:2020-07-24

    上周NMC專業的售后服務工程師至渭南師范學院完成了原子層沉積系統NLD-3000的安裝調試,并順利驗收!

    NLD-3000是一款PC全自動工藝控制的臺式ALD系統,包含完整的安全聯鎖功能,能夠沉積氧化物、氮化物、硫化物、氟化物、金屬等高品質的薄膜,達到光學級別的表面粗糙度。陽極氧化鋁腔體采用內外雙層上下結構設計,加熱腔壁和氣動升降頂蓋,一鍵實現頂蓋開啟/閉合。系統集成快速脈沖傳輸閥和多孔大面積加熱的ALD過濾器,可吸收多余前驅體。工藝程序、溫度設定值、氣體流量、抽真空卸真空工序、以及對傳輸管路的吹掃均通過LabView軟件全自動控制。

     以下為現場安裝圖:整機圖、腔體及ICP離子源、軟件控制界面。

    售后工程師首先進行安裝區域準備工作,確保有足夠的空間放置設備主體和配套設備(如空壓機、機械泵、冷水機等),之后進行氮氣、壓縮空氣、冷卻水、前級泵等管路連接,確保電源和線路連接正確后,安裝前驅體瓶,后開機調試,并對在場師生進行講解培訓,指導客戶自主創建工藝程序,進行打樣測試,并順利完成驗收!

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