• 配備大觀察窗的進口晶圓清洗機取放晶圓更加安全且方便
    點擊次數:673 發布時間:2021-06-11

        進口晶圓清洗機采用Nano-Master進口兆聲單晶圓及掩模版清洗機提供高可重復性、高均勻性及兆聲清洗。它可以在一個工藝步驟中包含了的無損兆聲清洗、化學試劑清洗、刷子清洗以及干燥功能。

        進口晶圓清洗機設備特點:

        ▲可更換清洗吸盤,可使用4-12英寸的清洗吸盤;

        ▲操作程序可按作業需求編寫調整,設備運行流程、清洗時間及各項參數可自行編制;

        ▲設備運行狀態及參數在線實時監控,自動門配有安全光柵,保證操作安全;

        ▲采用真空吸附式清洗盤,晶元夾具的取放更安全、方便;

        ▲擺臂式清洗,清洗范圍可編制,適用范圍廣、無清洗盲區、無二次污染,清洗效果更佳;

        ▲設備清洗室全密封,且配有自動擋水圈,有效防止二次污染;

        ▲高速離心設計,轉速可調節100-2000R/Min;

        ▲配備*的靜電消除裝置,輔助清洗達到最佳效果,可選擇使用氮氣;

        ▲設備配有大面積透明觀察窗;

        ▲縮減寬度的省空間設計,結構緊湊,占用空間??;

        ▲整機鏡面不銹鋼機身,能耐酸堿,對工作環境無污染,鏡面機殼易于保養。
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