• 進口微波去膠機*款適用于遠程控制的設備
    點擊次數:2245 發布時間:2015-10-28
      進口微波去膠機是石英腔的微波等離子系統,可以安裝到超凈間墻上。該系列的微波等離子系統可以用于批處理,也可以作為單片處理,系統為計算機全自動控制的系統。典型工藝包含:大劑量離子注入后的光刻膠去除;干法刻蝕工藝的前處理或后處理;MEMS制造中的犧牲層去除。
      
    進口微波去膠機系統控制:
      PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也適用于遠程控制)
      10.4”觸摸屏、圖形用戶界面
      Windows Office兼容
      存儲處理數據和錯誤信息,處理數據輸出
      工藝參數圖形曲線的 監測
      自動或手動操作
      
    進口微波去膠機工藝參數:

      材質:石英玻璃
      容積:21公升
      腔體尺寸:直徑240mm,深度460mm
      腔體后部:鋁
      腔門:鋁質材料制作,抽拉式支撐架跟前門相連,便于手動放片;
      氣體分布:前門擴散
      觀察視窗:防紫外及微波
      支撐架:鋁質材料,
      真空連接:DN40 ISO-KF
      壓力控制:Pirani,1-100Pa
      真空泵:推薦35m3/h
      真空閥:電子氣動閥,DN40 ISO-KF
      真空密封:硅樹脂
      氣體供應:1路數字顯示的質量流量器控制
      氣體通道:3路數字MFC,裝有電磁閥,1000/500/200sccm(N2校準),1/4" Swagelok接頭
      卸壓:電磁閥,1/4" Swagelok接頭
      功率:2.45GHz,50-1200W連續可調
      耦合:微波天線,鋁質諧振器,腔體內無電極
      
    進口微波去膠機選配:
      真空泵 : 雙級真空泵,如,抽吸能力大40m3/h
      氣路:額外的數字顯示質量流量控制器
      旋轉臺:鋁,直徑200mm,速度可調
      ECR(電子回旋共振):鋁、支架配置永磁體

    進口微波去膠機
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