• 深圳先進院磁控濺射順利安裝實施
    點擊次數:2020 發布時間:2017-08-17

    八月初,深圳先進院磁控濺射NSC-3500安裝條件已具備,NANO-MASTER的工程師們為深圳先進院安裝調試實施。

    本套NSC-3500是帶機械手臂的全自動控制型號,標準配置帶有水冷或者加熱(zui高可加熱到700度)功能,zui大到6"旋轉平臺,zui大可支持到3個偏軸平面磁控管。系統配套渦輪分子泵,極限真空可達10-7 Torr,15分鐘內可以達到10-6 Torr的真空。通過調整磁控管與基片之間的距離,可以獲得想要的均勻度和沉積速度。

    NSC-3500 帶有14"立方形不銹鋼腔體,32"的磁控管,DC直流和RF射頻電源。 在選配方面,350 l/s渦輪分子泵,額外的磁控管和襯底加熱功能。

     

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