• ALD系統應用范圍再次升級
    點擊次數:2339 發布時間:2017-10-13

    隨著NANO-MASTER*技術的ICP源的深入應用,對于大面積的基片提供均勻高品質的薄膜生長得以實現。到目前為止,NANO-MASTER的ALD系統可以支持在任意尺寸的襯底上的擴展,這給顯示和照明等領域帶來好消息。

    此外,NANO-MASTER同時具備粉末處理能力的擴展。這樣,NANO-MASTER系統已經可以支持在任意尺寸和任意形狀的固體上進行原子級生長。在應用選擇方面,我們支持熱ALD和PEALD系統的單獨應用,同時也支持ALE/ALD雙系統、IBE/ALD雙系統、ALD/PECVD雙系統、ALD/IBAD雙系統等應用,以及ALD跟其它NANO-MASTER任意系統組成的Cluster系統,可以實現多工序工藝在不間斷真空的情況下一步完成工藝。

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