• 產品名稱:NSC-4000Sputter磁控濺射鍍膜機

    產品型號:

    產品報價:

    產品特點:NSC-4000Sputter磁控濺射鍍膜機:先進的全自動濺射系統帶有水冷或者加熱(可加熱至700度)功能;8“旋轉樣平臺,可支持到3個偏軸平面磁控管。系統配套渦輪分子泵,極限真空可達10-7 Torr,15分鐘內可以達到10-6 Torr的真空。通過使用RF射頻開關,RF射頻或DC直流電源可以切換到多磁控管模式。通過調整磁控管與基片之間的距離,可以獲得想要的均勻度和沉積速度。

    NSC-4000Sputter磁控濺射鍍膜機的詳細資料:

    NSC-4000Sputter磁控濺射鍍膜機

    NSC-4000Sputter磁控濺射鍍膜機產品特點:

    • 不銹鋼,鋁質腔體或鐘罩式耐熱玻璃腔
    • 70,250或500 l/s的渦輪分子泵,串接機械泵或干泵
    • 13.56MHz,300-600W RF射頻電源以及1KW DC直流電源
    • 晶振夾具具有的<1 ?的厚度分辨率
    • 帶觀察視窗的腔門易于上下載片
    • 基于LabView軟件的PC計算機全自動控制
    • 帶密碼保護功能的多級訪問控制
    • 完全的安全聯鎖

    選配項:

    • 向上、向下或側面濺射
    • RF、DC以及脈沖DC濺射
    • 共濺射、反應濺射
    • 組合濺射
    • RF或DC偏壓(1000V)
    • 樣品臺可加熱到700°C
    • 膜厚監測儀
    • 基片的RF射頻等離子清洗
    • 預真空鎖以及自動晶圓片上/下載片

    應用:

    • 晶圓片、陶瓷片、玻璃白片以及磁頭等的金屬以及介質涂覆
    • 光學以及ITO涂覆
    • 帶高溫樣品臺和脈沖DC電源的硬涂覆
    • 帶RF射頻等離子放電的反應濺射

    型號:

    • NSC-4000:基于PC計算機全自動控制的獨立式系統
    • NSC-3500:基于PC計算機全自動控制的緊湊型獨立式系統
    • NSC-3000:PC計算機全自動控制的臺式系統
    • NSC-1000:半自動控制的臺式系統

    (以下為雙系統型號)

    • NSR-4000:濺射/RIE系統
    • NSP-4000:濺射/PECVD系統
    • NST-4000:濺射/熱蒸發系統

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