• 產品名稱:NSC-1000磁控濺射系統

    產品型號:

    產品報價:

    產品特點:NSC-1000磁控濺射系統:帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能,可達6“旋轉平臺,支持到2個偏軸平面磁控管。系統配套渦輪分子泵,極限真空可達10-7 Torr,15分鐘內可以達到10-6 Torr的真空。通過調整磁控管與基片之間的距離,可以獲得想要的均勻度和沉積速度。

    NSC-1000磁控濺射系統的詳細資料:

    磁控濺射技術

    NSC-1000磁控濺射系統概述:帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能,可達6"旋轉平臺,支持到2個偏軸平面磁控管。系統配套渦輪分子泵,極限真空可達10-7 Torr,15分鐘內可以達到10-6 Torr的真空。通過調整磁控管與基片之間的距離,可以獲得想要的均勻度和沉積速度。

    NSC-1000帶有10”派熱克鐘罩腔體,22”的磁控管,DC直流電源用于濺射金屬,并帶有膜厚監測儀(選配)。由于NSC-1000的空間有限,我們不能在NSC-1000系統上提供更多的電源和磁控管。我們可以提供我們的NSC-1000系統,用于SEM應用,也可以用于濺射金屬到z大6”的晶圓片。

    NSC-1000磁控濺射系統產品特點

    • 不銹鋼,鋁質腔體或鐘罩式耐熱玻璃腔
    • 70l/s的渦輪分子泵,串接機械泵或干泵
    • 1KW DC直流電源
    • 晶振夾具具有的<1 ?的厚度分辨率
    • 帶觀察視窗的腔門易于上下載片
    • 基于LabView軟件的PC計算機控制
    • 帶密碼保護功能的多級訪問控制
    • 完全的安全聯鎖功能

    選配項:

    • Thickness Monitor   膜厚監測

    應用:

    • SEM應用
    • 濺射金屬,可達6"的晶圓片

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