• 產品名稱:NMC-3000等離子輔助MOCVD

    產品型號:

    產品報價:

    產品特點:NMC-3000等離子輔助MOCVD系統:針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發的臺式等離子輔助金屬有機化學氣相沉積系統(PA-MOCVD),該系統具有5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)、PC全自動控制。

    NMC-3000等離子輔助MOCVD的詳細資料:

    等離子輔助MOCVD技術

    NMC-3000等離子輔助MOCVD概述:NANO-MASTER針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發的臺式等離子輔助金屬有機化學氣相沉積系統(PA-MOCVD),該系統具有5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)、PC全自動控制,完全的安全互鎖。

    目前,這項技術延伸到5個4"晶圓的立柜式獨立批處理系統,該系統可以集成到集群配置中以滿足高產量的要求。

    NMC-3000等離子輔助MOCVD應用:Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)

    NMC-3000等離子輔助MOCVD系統特點:

    • 臺式系統
    • 5個帶獨立冷卻槽的起泡器
    • 加熱的氣體管路
    • 950 °C樣品臺,2”晶圓片
    • 3個氣體環
    • RF等離子源,帶淋浴頭氣體分布
    • 工藝完成后N2自動沖洗
    • 極限真空5x10-7Torr
    • 260 l/s的渦輪分子泵串接無油干泵
    • 通過LabView軟件實現PC計算機全自動控制
    • 菜單驅動,4級密碼訪問控制
    • 完整的安全聯鎖

     

     

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