• 產品名稱:全自動電子束蒸發系統

    產品型號:NEE-4000(A)

    產品報價:

    產品特點:NEE-4000(A)全自動電子束蒸發系統:NEE-4000電子束蒸發系統為雙腔配置,樣品臺位于主腔體,二級腔體則用于安置電子束源。兩腔體之間的門閥作為預真空鎖,使得電子束源腔體保持真空的情況下,通過主腔放入基片到樣平臺(或夾具)上或從中取出。自動裝/卸載基片可通過第三方的預真空鎖實現。通過PC計算機控制,系統可以提供多電子束源的共蒸發能力,以及對組分或組分梯度進行編程的能力。

    NEE-4000(A)全自動電子束蒸發系統的詳細資料:

    電子束蒸發技術

    NEE-4000(A)全自動電子束蒸發系統概述:NANO-MASTER NEE-4000電子束蒸發系統為雙腔體的配置,其中樣品臺位于主腔體內,二級腔體則用于安置電子束源。這種在兩個腔體之間帶有門閥的配置可以作為預真空鎖,使得電子束源腔體保持真空的情況下,實現基片通過主腔體放入基片到樣平臺(或夾具)上或從中取出。在需要自動裝/卸載基片時,他可以通過第三方的預真空鎖來實現,這可以設置于立方體的左側。通過PC計算機控制,系統可以提供多電子束源的共蒸發能力,以及對組分或組分梯度進行編程的能力。

    NEE-4000(A)全自動電子束蒸發系統特點:

    • 順序蒸發或共蒸發
    • 雙電子束源
    • 多凹槽電子槍
    • 可編程電子束掃描
    • 10KW開關電源
    • 渦輪分子泵,極限真空5x10-7Torr
    • 自動上下載片
    • 材料和襯墊更換非常方便
    • 晶振式膜厚監測儀
    • 通過LabView軟件實現PC計算機控制
    • 菜單驅動,四級訪問密碼保護
    • 完全的安全聯鎖

    產品型號:

    • NEE-3500:計算機全自動控制的緊湊型獨立系統
    • NEE-4000:計算機全自動控制的獨立系統

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