• 產品名稱:ASTRO96全自動微波等離子清洗系統

    產品型號:

    產品報價:

    產品特點:ASTRO96全自動微波等離子清洗系統:Alpha等離子系統ASTRO96是一款低壓微波等離子系統,用于鍵合、模塑、焊錫球黏合前的先進芯片封裝清洗,以及倒裝芯片清洗。ASTRO96是全自動等離子系統,待處理的基片通過片匣緩存區載入,清洗完成后放回同一個片匣緩存區。

    ASTRO96全自動微波等離子清洗系統的詳細資料:

    微波等離子清洗

    ASTRO96全自動微波等離子清洗系統概述:Astro96全自動微波等離子清洗系統:Alpha等離子系統Astro96是一款低壓微波等離子系統,用于鍵合、模塑、焊錫球黏合前的先進芯片封裝清洗,以及倒裝芯片清洗。Astro96是全自動等離子系統,待處理的基片通過magzine Buffer載入,清洗完成后放回同一個Magzine Buffer。

    ASTRO96全自動微波等離子清洗系統技術參數:

    • 腔體:鋁
    • 容積:16.6公升
    • 尺寸:寬度330毫米×深度420毫米x120毫米
    • 腔室門:腔體下開門結構
    • 微波源:2.45GHz,可調50-600W
    • 氣體進氣:3路數字顯示的質量流量器控制,氣體分布系統位于工藝腔體內部
    • 觀察視窗:52.5mm玻璃,防紫外和RF
    • 真空計: Pirani,1-1000Pa
    • 真空系統:DN 40 ISO-KF
    • 真空閥:電動氣動閥
    • 設備尺寸:1635毫米x1405毫米x2265毫米

    片匣導軌傳送系統:

    • 全自動,無堵賽設計,集成到等離子主系統
    • 片匣通過2層傳送帶上下載片,提前上載或下載片
    • 通過使用可更換的輸送板,搬運系統可以支持較大范圍的基片尺寸、框架、舟等
    • 片匣尺寸:z大124mm寬,60-200mm高,110-320mm長,配套片匣傳感器來識別
    • 框架進/出:框架在同一個片匣和同一個槽實現進/出(標準配置)
    • 框架進/出:框架在不同的片匣和相同/不同的槽實現進/出(可選)
    • 堵塞檢測系統帶有可調節的推/拉力控制,并通過軟件實現具體的堵塞水平控制,以避免框架損壞
    • 支持手動模式,單次工序
    • UPH(框架/小時):360~900,取決于框架尺寸和等離子工藝

    系統控制:

    • PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也適用于遠程控制)
    • 19”觸摸屏、圖形用戶界面
    • Windows Office兼容
    • 存儲處理數據和錯誤信息,處理數據輸出
    • 工藝參數圖形曲線的 監測
    • 自動或手動操作

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