• 產品名稱:NRE-3000型RIE-PE刻蝕機

    產品型號:

    產品報價:

    產品特點:NRE-3000型RIE-PE刻蝕機:PC控制的RIE刻蝕PE刻蝕系統,淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品,不銹鋼柜子及13“的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口:一個帶有2“的視窗,另一個空置用于診斷.該系統可以支持Z大到12“的晶圓片。腔體為超凈設計,真空泵可以達到10-6 Torr 或更小的極限真空??梢栽?0mTorr到8Torr之間的真空下工作。

    NRE-3000型RIE-PE刻蝕機的詳細資料:

    RIE刻蝕PE刻蝕一體機

    NRE-3000型RIE-PE刻蝕機概述:RIE刻蝕PE刻蝕臺式一體機,淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品.具有不銹鋼柜子以及13"的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口:一個帶有2"的視窗,另一個空置用于診斷.該系統可以支持至大到12"的晶圓片。腔體為超凈設計,并且根據配套的真空泵可以達到10-6 Torr 或更小的極限真空。該系統系統可以在20mTorr到8Torr之間的真空下工作。真空泵組包含一個節流閥,一個250l/s的渦輪分子泵,濾網過濾器,以及一個10cfm的機械泵(帶Formblin泵油).RF射頻功率通過600W,13.56MHz的電源和自動調諧器提供。系統將持續監控直流自偏壓,該自偏壓可以高達-500V.這對于各向異性的刻蝕至關重要。

    NRE-3000型RIE-PE刻蝕機是基于PC控制的全自動系統.系統真空壓力及DC直流偏壓將以圖形格式實時顯示,流量及功率則以數字形式實時顯示.系統提供密碼保護的四級訪問功能:操作員級、工程師級、工藝人員級,以及維護人員級.允許半自動模式(工程師模式)、寫程序模式(工藝模式), 和全自動執行程序模式(操作模式)運行系統?;谌詣拥目刂?,該系統具有高度的可重復性。

    產品特點:

    • 鋁質腔體或不銹鋼腔體
    • 具有各向同性刻蝕和各向異性刻蝕兩種刻蝕能力
    • 不銹鋼立柜
    • 能夠刻蝕硅的化合物(~400? /min)以及金屬
    • 典型的硅刻蝕速率,400 ?/min
    • 高達12"的陽極氧化鋁RF樣品臺
    • 水冷及加熱的RF樣品臺
    • 大的自偏壓
    • 淋浴頭氣流分布
    • 極限真空5x10-7Torr,20分鐘內可以達到10-6Torr級別
    • 渦輪分子泵
    • 至多支持4個MFC
    • 無繞曲氣體管路
    • 自動下游壓力控制
    • 終點監測
    • 氣動升降頂蓋
    • 手動上下載片
    • 基于LabView軟件的PC計算機全自動控制
    • 菜單驅動,4級密碼訪問保護
    • 完全的安全聯鎖
    • 可選ICP離子源以及低溫冷卻樣品臺,用于深硅刻蝕

    產品型號:

    • NRE-4000:基于PC計算機全自動控制的獨立式系統,占地面積26“D x 44"W
    • NRE-3500:基于PC計算機全自動控制的緊湊型獨立式系統,占地面積26“D x 26"W
    • NRE-3000:基于PC計算機全自動控制的臺式系統,占地面積26“D x 26"W
    • NRP-4000:RIE/PECVD雙系統
    • NDR-4000:深RIE刻蝕(深硅刻蝕)系統

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