• 產品名稱:金屬有機化學氣相沉積系統MOVPE設備

    產品型號:

    產品報價:

    產品特點:金屬有機化學氣相沉積系統MOVPE設備:針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發的臺式等離子輔助(PA-MOCVD),該系統具有5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)、PC全自動控制。

    金屬有機化學氣相沉積系統MOVPE設備的詳細資料:

    概述:

    NANO-MASTER針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發的臺式等離子輔助(PA-MOCVD),該系統具有5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)、PC全自動控制,完全的安全互鎖。

    目前,這項技術延伸到5個4"晶圓的立柜式獨立批處理系統,該系統可以集成到集群配置中以滿足高產量的要求。

    金屬有機化學氣相沉積系統MOVPE設備應用:

    • Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)

    金屬有機化學氣相沉積系統MOVPE設備特點:

    • 獨立系統
    • 14”不銹鋼立方體腔體
    • 1次在8”樣品臺上處理16”晶圓片或在12”樣品臺上處理54”片子
    • 加熱的氣體管路
    • RF等離子源,自動調諧
    • 淋浴頭氣體分布
    • 1100°C的旋轉樣品臺
    • N2沖洗
    • 手動放置晶圓片

     

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