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    產品名稱：等離子體增強MOCVD

    產品型號：

    產品報價：

    產品特點：等離子體增強MOCVD：針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發的臺式等離子輔助金屬有機化學氣相沉積系統（PA-MOCVD）,該系統具有5個鼓泡裝置（各帶獨立的冷卻槽）、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、 250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵（5 x 10-7Torr極限真空）、PC全自動控制，完全的安全

    等離子體增強MOCVD的詳細資料：

    等離子體增強MOCVD

    等離子體增強MOCVD概述：

        MOVPE，也就是大名鼎鼎的MOCVD(金屬有機物化學氣相沉積), 針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發的臺式等離子輔助金屬有機化學氣相沉積系統(PA-MOCVD),該系統具有加熱的氣體管路、5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、950度樣品臺三個氣體環、PC全自動控制、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、 250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)，完全的安全互鎖。

        目前，NANO-MASTER(那諾-馬斯特)的這項技術延伸到5個4"晶圓的立柜式獨立批處理系統，該系統可以集成到集群配置中以滿足高產量的要求。

    等離子體增強MOCVD型號：

    • 臺式系統
    • 5個帶獨立冷卻槽的起泡器
    • 加熱的氣體管路
    • 950 °C樣品臺，2"晶圓片
    • 3個氣體環
    • RF等離子源，帶淋浴頭氣體分布
    • 工藝完成后N2自動沖洗
    • 極限真空5x10-7Torr
    • 250 l/s的渦輪分子泵串接無油干泵
    • 通過LabView軟件實現PC計算機全自動控制
    • 菜單驅動，4級密碼訪問控制
    • 完整的安全聯鎖

    配置：

    • 獨立系統
    • 14"不銹鋼立方體腔體
    • 1次在8"樣品臺上處理1個6"晶圓片或在12"樣品臺上處理5片4"片子
    • 加熱的氣體管路
    • RF等離子源，自動調諧
    • 淋浴頭氣體分布
    • 1100°C的旋轉樣品臺
    • N2沖洗
    • 手動或自動的晶圓片上下載
    • 可以兼容到集群配置中

    應用：

    • 3到5族半導體層
    • 藍色發光二極管
    • 激光二極管
    • 紫外-可見光譜光電中的氮化銦納米棒
    • 3D或2D材料中的二硫化鉬、氮化硼、石墨烯

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