• 產品名稱:進口ALD設備

    產品型號:

    產品報價:

    產品特點:進口ALD設備:ALD原子層沉積可以滿足膜厚控制以及高深寬比結構的保形沉積,這方面ALD原子層沉積遠超過其它沉積技術。由于前驅體流量的隨意性不會帶來影響,所以在ALD原子層沉積中有序、自限制的表面反應將會帶來非統計的沉積。這使得ALD原子層沉積膜保持高度的光滑、連續以及無孔的特性,可以提供優異的薄膜性能。ALD原子層工藝也可以實現到大基片上。

    進口ALD設備的詳細資料:

    進口ALD設備概述:原子層沉積是一項沉積薄膜的重要技術,具有廣泛的應用。ALD原子層沉積可以滿足膜厚控制以及高深寬比結構的保形沉積,這方面ALD原子層沉積遠超過其它沉積技術。由于前驅體流量的隨意性不會帶來影響,所以在ALD原子層沉積中有序、自限制的表面反應將會帶來非統計的沉積。這使得ALD原子層沉積膜保持高度的光滑、連續以及無孔的特性,可以提供優異的薄膜性能。ALD原子層工藝也可以實現到大基片上。

    進口ALD設備特點:

    • 占地面積小
    • 計算機控制,Labview軟件全自動工藝控制
    • 360A厚的AL2O3膜,誤差為±1A
    • 三維鍍膜,接近100%的階梯覆蓋率
    • 設備集成安全氣柜
    • 10mTorr的極限真空
    • 可支持6“,8”基片(升級支持12“,或定制更大尺寸)
    • 樣品臺可加熱至400℃(可選加熱到500℃)
    • 手動/自動上下載片可選
    • 支持多達7路的50ml的液態或固態前驅體瓶源

    進口ALD設備選配:

    • 下游式遠程平面ICP源或中空陰極離子源,支持PEALD
    • 自動上下片,單片或25片cassette
    • 增加額外的液態qia前驅體或額外的fan'ying反應氣路
    • 300l/sec的磁懸浮渦流分子泵,5*10-7Torr極限真空
    • 大尺寸的基片或fe粉末的沉積
    • QCM原位膜厚監控系統

    進口ALD設備應用:

    • Oxides氧化物: Al203, HfO2, La2O3, SiO2, TiO ZnO, In2O3,etc
    • Nitrides氮化物: AlN, TiN, TaN, etc..
    • Photovoltaic and MEMS applications光伏及MEMS應用.
    • Nano laminates納米復合材料
    • 高K介質
    • 疏水性涂覆
    • 鈍化層
    • 高深寬比擴散阻擋層的銅連接
    • 微流控ying'yo應用的保形性涂覆
    • 燃料電池z中諸如催化層的單金屬涂覆 

     如果你對進口ALD設備感興趣,想了解更詳細的產品信息,填寫下表直接與廠家聯系:

    留言框

    • 產品:

    • 您的單位:

    • 您的姓名:

    • 聯系電話:

    • 常用郵箱:

    • 省份:

    • 詳細地址:

    • 補充說明:

    • 驗證碼:

      請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7
     相關同類產品:
    NLD-4000(ICPM)PEALD系統  NLD-4000(ICPA)全自動PEALD系統  NLD-3500(A)全自動原子層沉積設備  NLD-3500(M)原子層沉積系統  NLD-4000(A)全自動原子層沉積系統  NLD-4000(M)原子層沉積系統  NLD-3000原子層沉積系統 
韩国a级作爱片_国产系列丝袜熟女精品网站_国产剧情国产精品一区_苍井そら无码av_97人摸人人澡人人人超碰<蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <文本链> <文本链> <文本链> <文本链> <文本链> <文本链>