• 產品名稱:光學鍍膜系統

    產品型號:

    產品報價:

    產品特點:光學鍍膜系統:NANO-MASTER NOC-4000光學涂覆系統提供先進的技術,在一個腔體中實現原子級清洗和光學樣片拋光,然后把樣片傳送到第二級腔體中對同一樣片進行表面涂覆,整個過程不間斷真空。系統的設計也可以支持其中任一個腔體的單獨使用,同時具備各自的自動上/下載片功能。

    光學鍍膜系統的詳細資料:

    光學鍍膜系統概述:NANO-MASTER NOC-4000光學涂覆系統提供先進的技術,在一個腔體中實現原子級清洗和光學樣片拋光,然后把樣片傳送到第二級腔體中對同一樣片進行表面涂覆,整個過程不間斷真空。系統的設計也可以支持其中任一個腔體的單獨使用,同時具備各自的自動上/下載片功能。

     

    光學鍍膜系統應用

    • 光學涂層
    • 濺射
    • 離子束輔助沉積
    • 離子束刻蝕清洗
    • 離子束輔助反應刻蝕
    • 紅外涂層
    • 表面處理

     

    光學鍍膜系統產品特點:

    • 射頻偏壓樣品臺
    • 膜厚監測儀
    • 極限真空5x10-7Torr
    • 高精度及高重復性
    • 高品質膜層
    • 原子級的潔凈表面
    • 原子級清洗和拋光
    • 通過LabView軟件實現PC計算機全自動控制
    • 自動上下載片
    • 兩個腔體之間自動傳送
    • 菜單驅動,4級密碼訪問保護
    • 完整的安全聯鎖
    • 占地面積46”D x 44”W

     

    光學鍍膜系統選配項:

    • 向下/向上濺射
    • 共濺射
    • DC,RF以及脈沖電源
    • 離子束輔助沉積
    • 電子束源
    • 等離子源

     

     

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