• NIE-4000(R)RIBE反應離子束刻蝕:如銅和金等金屬不含揮發性化合物,這些金屬的刻蝕無法在RIE系統中完成。然而通過加速的Ar離子進行物理刻蝕則是可能的。通常情況下,樣品表面采用厚膠作為掩模層,刻蝕期間富有能量的離子流會使得基片和光刻膠過熱。除非可以找到有效的方式消除熱量,否則光刻膠將變得非常難以去除。
  • NIE-3500(A)全自動IBE離子束刻蝕:是一款自動放片/取片,并且工藝過程為全自動計算機控制的緊湊型獨立的立柜式離子束刻蝕系統,可以用于表面清洗、表面處理、離子銑。
  • NIM-4000(M)離子銑刻蝕系統:利用離子束轟擊固體表面的濺射作用,剝離加工各種幾何圖形,通過大面積離子源產生的離子束,可對固體材料濺射刻蝕,對固體器件進行微細加工。
  • NIM-4000(A)全自動離子銑刻蝕:利用離子束轟擊固體表面的濺射作用,剝離加工各種幾何圖形,通過大面積離子源產生的離子束,可對固體材料濺射刻蝕,對固體器件進行微細加工。
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