• LSC-5000全自動兆聲大基片濕法去膠系統:Nano-Master兆聲大基片濕法刻蝕系統提供高可重復性、高均勻性及的兆聲清洗、兆聲輔助下光刻膠剝離,以及濕法刻蝕。該系統為全自動機械手上下載片,可以在一個工藝步驟中包含了的無損兆聲清洗、化學試劑清洗、刷子清洗以及干燥功能。
  • LSC-4000兆聲大基片濕法去膠清洗系統:Nano-Master兆聲大基片濕法刻蝕系統提供高可重復性、高均勻性及的兆聲清洗、兆聲輔助下光刻膠剝離。它是集成式的一體化系統,可以在一個工藝步驟中包含了的無損兆聲清洗、化學試劑清洗、刷子清洗以及干燥功能。
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