• NEE-4000(A)全自動電子束蒸發系統:NEE-4000電子束蒸發系統為雙腔配置,樣品臺位于主腔體,二級腔體則用于安置電子束源。兩腔體之間的門閥作為預真空鎖,使得電子束源腔體保持真空的情況下,通過主腔放入基片到樣平臺(或夾具)上或從中取出。自動裝/卸載基片可通過第三方的預真空鎖實現。通過PC計算機控制,系統可以提供多電子束源的共蒸發能力,以及對組分或組分梯度進行編程的能力。
  • NEE-4000(M)電子束蒸發系統:NEE-4000電子束蒸發系統為雙腔體的配置,樣品臺位于主腔體,二級腔體則用于安置電子束源。兩個腔體之間的門閥可以作為預真空鎖,使得電子束源腔體保持真空的情況下,實現基片通過主腔體放入基片到樣平臺(或夾具)上或從中取出。自動裝/卸載基片可通過第三方的預真空鎖實現。通過PC計算機控制,系統可以提供多電子束源的共蒸發能力,以及對組分或組分梯度進行編程的能力。
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