• NRE-4000型RIE-PE刻蝕機:提供PC控制的PE刻蝕RIE刻蝕一體機,配套有淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品.具有不銹鋼柜子以及13“的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口:一個帶有2“的視窗,另一個空置用于診斷.該系統可以支持Z大到12“的晶圓片。腔體為超凈設計,真空泵可以達到10-6 Torr 或更小的極限真空。該系統系統可以在20mTorr到8Torr之間的真空下工作。
  • NRE-3500型RIE-PE刻蝕機:PC控制的RIE刻蝕PE刻蝕一體機,淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品,不銹鋼柜子及13“的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口:一個帶有2“的視窗,另一個空置用于診斷.該系統可以支持Z大到12“的晶圓片。腔體為超凈設計,真空泵可以達到10-6 Torr 或更小的極限真空??梢栽?0mTorr到8Torr之間的真空下工作。
  • NRE-3000型RIE-PE刻蝕機:PC控制的RIE刻蝕PE刻蝕系統,淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品,不銹鋼柜子及13“的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口:一個帶有2“的視窗,另一個空置用于診斷.該系統可以支持Z大到12“的晶圓片。腔體為超凈設計,真空泵可以達到10-6 Torr 或更小的極限真空??梢栽?0mTorr到8Torr之間的真空下工作。
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