• NANO-MASTER(那諾-馬斯特)Platens樣品臺,又稱為基板或加熱板,是真空鍍膜設備中常用到關鍵部件。因此樣品臺可以整合到RIE刻蝕、ICP刻蝕、PECVD、ALD等刻蝕和沉積設備中,給晶圓等樣片進行均勻加熱和冷卻處理,為微納米薄膜工藝提供精確的溫度環境。
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